二手 NIKON NSR 1505 G4D #293819196 待售

NIKON NSR 1505 G4D
ID: 293819196
Steppers.
NIKON NSR 1505 G4D是一種晶片步進器,設計用於半導體工業中的光刻晶片加工。NIKON NSR 1505 G 4D是一款高端生產級步進掃描設備,能夠實現半導體電路的精密微圖樣化,具有可調節的折射投影鏡頭和更大的對準視野。它采用了最新的先進成像技術,以高精度和非常精細的分辨率實現直接對齊和模式傳輸。該系統具有出色的陣列放置精度、無失真圖像保真度,以及允許最高吞吐量和高級環境控制的選項。它的圖像尺寸為5英寸,可以容納最大8英寸的基板。曝光波長為248nm,支持激光幹涉儀。NSR 1505 G4D是為高精度和低模式失真而設計的。其高吞吐量和精細分辨率通過其Step和Scan技術實現,並通過主動對準和高級光學優化來精確復制用戶生成的掩碼模式。此外,還可以調整掃描速度以優化處理時間。該裝置采用先進的環境控制,配有晶圓邊緣跟蹤機進行聚焦和對準,有源傳感器用於晶圓平整校正,以及自動級校準。它可以手動、半自動或全自動模式操作,具有自動入射照明和快門控制。此外,還提供了對該工具所需的計算資源、軟件、支持和RAM的訪問。它還可以提供實時監控和反饋,以幫助確保更快、準確和高效的晶圓處理。總體而言,NSR 1505 G4D是在半導體工業中生產先進光刻和微制圖工藝的完美工具。它采用最新的先進成像和環境技術構建,並針對生產吞吐量和準確性進行了優化。這使得它成為許多半導體行業的理想選擇。
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