二手 NIKON NSR 1505 G4D #9226100 待售

NIKON NSR 1505 G4D晶片步進器是為半導體和集成電路制造設計的先進光刻系統。它能夠進行廣泛的過程，如暴露、抗塗層、抗顯影。NIKON NSR 1505 G 4D配備了高精度兩軸掃描級和340 nm, 4 mJ ArF激光源，與常規激光源相比，提供高達4倍的光響，同時顯著提高了叠加配準精度。曝光模式的精度提高用於產生更精細的線條和模式，從而能夠以更高的精度生產更大範圍的元件。NSR 1505 G4D的最大級行進距離為355毫米（直徑14英寸），最小分辨率為0.5 μ m。步進器極端註重過程控制和準確性，以及用戶友好的界面，確保其操作既高效又可靠。NSR 1505 G4D與廣泛的抗蝕劑材料兼容，允許進行多種光刻工藝。這包括：液體浸泡，先進的微機械，SU-8，和燈塔結構模式。NIKON NSR 1505 G4D適合在1 μ m至200 μ m的尺寸範圍內執行高精度圖案。它還能夠產生形狀和大小有顯著差異的圖案，具有0.5米μ線條和空間等小特征，直至直徑可達20毫米的大型特征。為了保護晶片表面，NIKON NSR 1505 G4D包括一個積極維護清潔環境的先進真空系統，以及有助於保護晶片免受光漂白和其他缺陷影響的溫度和濕度控制系統。除了精確度和可靠性外,NSR 1505 G4D還具有快速曝光時間和高速處理功能,可實現大批量生產。步進器包含一系列安全系統，以盡量減少操作員和其他人員可能受到的輻射。最後，NSR 1505 G4D是一種用於半導體制造的領先光刻系統。這種先進的晶片步進器提供了高精度、高質量的曝光模式和更強的能力，允許生產更多的元件。它提供了一整套環保功能和安全措施，其快速曝光和高速處理能力驅動效率和可靠性。