二手 NIKON NSR 1505 G6 #9068875 待售

NIKON NSR 1505 G6
製造商
NIKON
模型
NSR 1505 G6
ID: 9068875
晶圓大小: 6"
Steppers, 6".
NIKON NSR 1505 G6是一種高性能晶圓步進器,設計用於生產中小範圍IC(集成電路)器件。它采用了最新的光刻技術,NIKON經過驗證的G系列技術,並進行了幾項專有創新。NSR 1505 G6步進器基於最先進的雙柱C型框架設計和先進的真空室。這為提高吞吐量、提高產量和降低成本提供了卓越的熱電平臺穩定性、高對準精度和低振動。NIKON NSR 1505 G6步進器裝有5軸對準和雙面激光幹涉儀系統,能夠以快速的測量速度測量很小的幾何形狀。這允許高效生產最先進的集成電路。NSR 1505 G6步進器還配備了NIKON先進的對準架構,以優化和控制焦點控制深度和用於betetr掃描匹配標線的微光學。步進器還配備了擴展的100毫米視場(FOV),允許晶片以高、低成本和高分辨率成像進行掃描。擴展的FOV使得減少每晶圓的圖像曝光次數成為可能,使其成為一種高效的生產工具。NIKON NSR 1505 G6的卓越能力和性能也部分得益於其精密的照明設計和超高分辨率曝光系統。它能夠為開發人員提供生成極小特征所需的精確照明。高端光學設計,加上NIKON精密加工和裝配功能,使NSR 1505 G6能夠以無與倫比的速度和產量提供高度精確的成像過程。綜上所述,NIKON NSR 1505 G6晶片步進器提供極高的成本效益,同時提供極小的特征尺寸、嚴格的幾何公差以及卓越的圖像分辨率和視野精度。這使得它成為開發中小型集成電路的理想工具。
還沒有評論