二手 NIKON NSR 1505 G6 #9236645 待售

NIKON NSR 1505 G6晶圓步進器（Wafer Stepper）是半導體製造光刻工藝中使用的裝置。這種器件能夠將光學模式傳輸到矽晶片，該晶片用於生產集成半導體電路。NSR 1505 G6的大型投影鏡頭在其6英寸晶圓尺寸下最大限度地提高了吞吐量，表現出優異的性能。它專為亞微米應用而設計，具有多種提高設備精度和可靠性的功能。NIKON NSR 1505 G6的光學設備具有投影鏡頭改善的圖像平面平面度、更精細的對準精度和更大的光圈。這確保了準確的模式連續性和改進的配準穩定性。該設備還集成了被稱為PALONE-E控制器的實時曝光控制系統，提供了卓越的曝光精度和改進的換擋性能。控制器還集成了許多功能,如自動曝光控制、數字圖像移位和自動對焦,可實現精確曝光和對準。NSR 1505 G6還配備了高精度XY級掃描和叠加控制系統。它采用放大的針跡檢視器設計，提供改進的覆蓋性能和晶圓檢查。它還具有改進的高速副光束對準選項,可提高對準速度。該設備設計用於高精度成像,並利用分辨率高達30,000像素的8位數據。該設備還具有4英寸的標線對準精度和5 um的平面平面度。NIKON NSR 1505 G6集成了一個新的照相射擊單元和高效的光學濾光機。該消防工具通過結合短光源和長光源的曝光提高精度和吞吐量。濾波資產有助於保持均勻晶圓響應的最佳ISO靈敏度。它還允許精確的曝光控制,同時保持低背景值。NSR 1505 G6還具有自動濕度和粒子計數器，可在光刻過程中精確監測環境條件。它還具有一種維護模式，以便在需要時及時校準和維修。最後，該設備與靈活的自動化清洗模型集成在一起，可以處理各種工藝晶片尺寸和成型，使得工藝效率極高。總體而言,NIKON NSR 1505 G6晶圓步進器是一種復雜的設備,具有更高的精度、準確性和吞吐量。它是為廣泛的基板尺寸和應用而設計的，使其成為光刻工藝的可靠和高效的選擇。