二手 NIKON NSR 1505 G6D #293665025 待售

NIKON NSR 1505 G6D
ID: 293665025
Steppers.
NIKON NSR 1505 G6D晶圓步進器是一種精密成像工具,用於制造集成電路、LCD顯示器、磁存儲器產品和其他微小型設備。NSR 1505減少了工藝時間和能源成本,同時提供了卓越的精度和精確度。NSR 1505 G6D配備了先進的1 X光光光學器件,在15至188 nm的波長範圍內開辟了廣泛的曝光波長加紫外線(UV)和深紫外線(DUV)。這種大波長範圍允許多種應用,包括高分辨率光刻、設備探測、材料研究、高速圖樣和3D圖像處理。NSR 1505還與標準掩碼對齊器配合使用,使用戶能夠靈活地執行高級應用程序。NSR 1505具有高達30kHz的快速掃描速率,最大像素分辨率為3.2 μ m,最小特征大小為0.25 μ m。它還具有6軸平行驅動器對準功能,每次都可精確地重復定位。精密的六軸驅動設備和伺服反饋系統保證快速、低噪聲的徑向、水平和垂直掃描操作,而ASR穩定監測單元則確保一致的精度。此外,光機還利用了OCR-DF結構、Spectra-Beam 2光源和Extra-Wide NA光學系統等功能,後者可將加工時間縮短40%。NSR 1505結合了Windows XP操作工具以實現平穩運行,並提供可選的N-Vestiti軟件,用於同時進行成像曝光、光刻和模具級檢查等高級功能。這樣可以使資產更快地工作,從而縮短生產周期。此外,NSR 1505的光掩模對準功能在評估晶片上形成的圖樣時保證了準確性和可重復性。晶圓形狀誤差檢測功能有助於減少曝光的周期時間和建模成本,從而提高光學精度和重復性。最後,包括集成控制器、人體工程學操作站和全自動操作在內的許多其他功能使NIKON NSR 1505 G6D許多尖端應用程序的理想選擇。
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