二手 NIKON NSR 1505 G6D #293817958 待售

NIKON NSR 1505 G6D
ID: 293817958
Stepper Numerical Aperture (NA): 0.45 Resolution: 750 nm DCO:  140 Throughput (WPH): 58.
NIKON NSR 1505 G6D Wafer Stepper是一種設計用於集成電路開發的高精度光刻工具。該晶片步進器建立在NIKON NSR-G6光刻平臺上,為芯片生產提供經濟高效的性能。它提供0.285µm的最大分辨率,以及低分辨率的叠加誤差和精確的對準。NSR 1505 G6D能夠處理各種類型的基材如石英、矽、砷化氙等,以及晶片小至2英寸的芯片生產。晶圓步進器配備了雙級自動對焦設備和內置對準系統。這使得晶片的對準具有無與倫比的精度,從而產生了高精度的蝕刻圖樣。該機采用尼康環保G6控制軟件供電,提供全自動操作,用戶幹預最少。用戶界面易於使用,為用戶提供了對光刻工藝的便捷控制。此外,NIKON NSR 1505 G6D還提供低噪聲操作和可選的曝光模式。為確保光刻工藝得到優化,晶圓步進器配備了多種可選功能。其中包括一個板載測量單元,允許用戶測量曝光區域的大小和形狀。該機器還提供了自動加載機器的選項,使用戶能夠快速、輕松地輸入晶片。此外,通過高速掃描和曝光過程,這臺機器能夠每小時處理大約40個晶圓。NSR 1505 G6D Wafer Stepper旨在為用戶提供經濟高效的集成電路生產性能。這種最先進的光刻工具易於使用,其用戶友好的界面和可選的曝光模式。憑借出色的分辨率和對準能力,是高精度芯片生產的理想選擇。
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