二手 NIKON NSR 1505 G6D #9269101 待售

NIKON NSR 1505 G6D是最先進的晶圓步進器,為要求苛刻的半導體行業提供精密的光刻解決方案。這款備受追捧的步進器讓用戶提高了晶圓的開發能力，產生了高精度和重復性的先進半導體器件模式。它結合了先進光學、機動化、精密機器人單元、曝光控制系統和圖像分析系統的使用，創造出高質量的晶圓。NSR 1505 G6D旨在為任何大規模晶圓生產帶來卓越的生產速度和高精度和成本節約。系統最大曝光面積200毫米x 200毫米，分辨率為30 µm。它帶有可編程曝光配置文件,以確保精確的模式復制和準確性。它提供聚焦清晰的圖像,最大曝光劑量為5000mJ/cm2。它還提供更高的曝光源、產量和吞吐量,允許較短的周期時間和可靠的生產。此外,NIKON NSR 1505 G6D支持高級圖像分析和模式識別,允許自動調整模式並糾正曝光過程中的錯誤。它具有用於剪接和晶片開發的自動曝光控制系統,以及一系列附加功能,如叠加評估和用戶調整最佳曝光時間。它還包括一個最先進的配方接口，以便對曝光參數進行簡單的編程。該系統設計用於最低限度的維護和停機時間,僅需要定期進行預防性維護和專業校準,以確保最佳性能。NSR 1505 G6D能夠處理從200 mm到300 mm的各種晶圓尺寸,因此適合用於任何大型光刻項目。憑借其先進的功能,它可以定制以適應特定的應用程序,提供最高的成本效率和吞吐量標準。