二手 NIKON NSR 1505 G6E #293592863 待售

ID: 293592863
Stepper, parts machine 1998 vintage.
尼康NIKON NSR 1505 G6E是用於半導體光刻的最新、高性能激光掃描步進器。NIKON NSR-1505G6E由高功率掃描儀和先進的共聚焦光學器件驅動,可確保制造超細電子元件所需的精確、快速曝光。NSR 1505 G6E采用最先進的激光掃描儀,可提供高精度成像,同時在曝光期間實現低p-V失真。雙柱六極結構提供了出色的穩定性和精確的運動控制,而獨立的運動階段提供了更多的對圖像尺寸的控制。該掃描儀采用最新的光學設計,提供0.45nm的出色橫向分辨率、增強的光強度和更高的圖像均勻性。掃描儀的光學輪廓極為均勻,在整個視場上提供低失真圖像。NSR-1505G6E配備了強大的照明設備,具有高的光吞吐量。這使得晶片步進器能達到最佳曝光時間和最大晶片吞吐量,使其成為生產運行的理想選擇。計算機控制系統有助於精確的成像和曝光控制。NIKON NSR 1505 G6E具有廣泛的可編程參數,如波長圖樣、狹縫寬度、焦點控制、激光功率、脈沖持續時間和脈沖形狀。這些設置可以根據每個應用程序的要求進行自定義。NIKON NSR-1505G6E能夠處理直徑達200毫米的基板,具有高速、大場曝光能力。它還支持使用MEBES抵抗和LPCVD進程,因此可以在多個應用和情況下使用。NSR 1505 G6E還包括一個高級診斷單元。自診斷機器監視刀具的性能,而遠程診斷功能使技術人員能夠準確地遠程診斷和修復任何問題。總體而言,NSR-1505G6E是一個功能強大的高級晶圓步進器,提供無與倫比的精度和性能。這種晶圓步進器具有高質量的光學、掃描儀、照明資產和可編程參數,是半導體光刻的理想選擇,並將在未來幾年繼續為行業服務。
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