二手 NIKON NSR 1505 G6E #293665027 待售
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NIKON NSR 1505 G6E是目前市場上最先進、最可靠的步進之一。NIKON NSR-1505G6E是半導體和平板顯示行業中用於光刻、檢查和工藝控制的多功能成像設備。高分辨率步進器支持4英寸和5英寸單面/雙面場成像,用於全晶圓和單片級檢測。NSR 1505 G6E是一款高端機器,具有一長串功能,可幫助它從精度和速度要求兩方面實現高性能。配備5英寸平場高數值孔徑(NA)投影鏡頭,電動XY級,二極管激光源,高分辨率相機,以及提供270mm投影工作空間的光學校正1-5x光學變焦系統。NSR步進器還擁有一個高速變焦單元,每秒最多20個影像幀,以及一臺掃描機,使操作員能夠以最高的可用精度快速獲取高分辨率的圖像,使其成為要求最苛刻的應用程序。NSR-1505G6E還具有高度自動化的平臺,能夠更快地加載和卸載晶圓。這包括一個自動工具,用於將晶片與攝像機的視場對齊,從而無需手動對齊。NIKON NSR 1505 G6E還配備了圖像處理單元,可以更快地進行圖像采集、分析和處理。這大大減少了操作員的工作量並提高了生產率。NIKON NSR-1505G6E步進器還通過其Auto Alignment軟件提供了目前最先進的對齊技術。此自動化特征通過自動確定相對於晶圓的最佳對準模式,然後利用該模式對準每個光場位置來確保最高的對準精度。NSR 1505 G6E還利用了獲得NIKON專利的Global Alignment資產,該資產可以自動檢測整個晶圓之間的未對齊情況並采取相應行動。最後,NSR-1505G6E提供了一系列高級流程控制,其中包括各種選項,使用戶能夠配置模型以滿足其特定要求。它包括一個自動對焦設備,用於在整個現場優化焦點位置,同時在成像過程中保持對齊,並包括高級數據分析和報告工具,以幫助跟蹤過程。所有這些功能都展示了NIKON NSR 1505 G6E在眾多應用程序中的卓越性能和可靠性。
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