二手 NIKON NSR 1505 G6E #293717119 待售

NIKON NSR 1505 G6E是一種高精度、5軸晶圓步進器，用於無掩模光刻操作中的光刻圖樣。它配備了x、y、z、θ和旋轉軸控制,為關鍵晶圓級設備操作提供了卓越的步驟和重復精度。它還具有獨特的鏡像掃描系統,可實現整個成像領域（包括外圍區域）的高均勻性,以用於需要高分辨率陣列的應用程序。在內部,系統構建在集成了光學、成像、運動控制和PC的多合一體系結構上,從而無需添加單獨的控制組件。這樣可以減少所需的空間,簡化對齊方式並縮短設置時間。NIKON NSR-1505G6E還具有超高的分辨率和出色的可重復性,能夠通過其自動校正功能識別晶圓上的散射微點。這樣可以提高成像質量,特別是在識別整個晶圓場的均勻性時,使其成為細線陣列和其他小型化特征的理想選擇。NSR 1505 G6E是完全自動化的,具有完全可操作員配置的基於PC的操作軟件,允許操作員自定義設置和程序錯誤檢測例程。它與所有CAD程序兼容,並且能夠通過自動控制和重復操作功能進行無縫操作。此外,系統會記錄所有數據,以確保精確的模式並最大程度地減少人為錯誤。NSR-1505G6E中包含的高級算法和擴展控制設置允許最大程度地控制曝光和對齊。它具有大的可編程照明和自動曝光控制功能，允許調整曝光設置，以防止圖像失真。NIKON NSR 1505 G6E可靠性很高,保證了精度和高速.它功能強大但簡單易用,具有完全集成的光學、成像和運動功能,適用於大型晶圓布局和小型設備制造。