二手 NIKON NSR 1505 G6E #293817955 待售

NIKON NSR 1505 G6E
ID: 293817955
Stepper Numerical Aperture (NA): 0.54 Resolution: 650 nm DCO: 140 Throughput (WPH): 58.
NIKON NSR 1505 G6E是半導體制造工藝中用於光刻的先進晶圓步進器。它是一種步進掃描投影對齊器,能夠在大直徑半導體基板上提供高密度的芯片圖樣曝光。該設備可精確成像直徑達200毫米的晶片,並可容納用於將晶片分割成兩個圖樣晶片的雙晶片工藝。該G6E是一個多掃描步驟和重復系統,能夠提供更快的處理時間和高速。該單元配備了精密0.35數值孔徑的最先進的光學機器、高分辨率掃描儀、強大的舞臺定位工具以及先進的圖像校正技術。這種特性的組合使資產能夠提供極好的覆蓋和放置精度<1.5毫米的間距,深度可達10微米。該型號還配備了高速伺服電動機,用於更快的曝光脈沖應用,以及堅固耐用的驅動設備,確保在曝光時進行精確的晶圓處理。該系統還包括一個高效的冷卻機構和一個先進的快門單元,用於可靠的曝光。NIKON NSR-1505G6E是一個強大的機器,設計可靠和高效的操作。該工具利用由主CPU和晶圓處理CPU組成的雙CPU資產。主CPU負責控制模型,而晶圓處理CPU處理曝光處理和晶圓處理。這種結構通過兩個CPU之間更好的通信提供了高吞吐量和更高的準確性。NSR 1505 G6E還設計了用戶友好的軟件,提供了滿足各種處理條件的各種選項。它配備了多曝光功能,允許用戶在同一晶片上處理多次曝光。此功能減少了處理時間,提高了總體吞吐量和準確性。NSR-1505G6E是一種先進的晶圓步進器,旨在滿足最先進的光刻工藝的要求。設備配備了最先進的光學系統、先進的晶圓處理技術、用戶友好的軟件。這些特性及其強大的設計使設備能夠持續提供高質量的曝光結果。
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