二手 NIKON NSR 1505 G6E #9160454 待售

NIKON NSR 1505 G6E是一種高性能、半自動化的晶圓步進器，旨在幫助制造商采取節省成本的措施，提高其整體產量。該設備采用了高度可靠、經濟高效和用戶友好的設計，使得半導體行業能夠大幅降低成本和優化產量。該系統由管理晶圓處理功能的主單元和電源模塊組成。主機總共配備了5個軸，包括一個旋轉卡盤和精細定位（Z軸）型級以及一個光學模塊和步進頭。光學模組有水銀燈和鏡像變焦裝置（MZU），可進行高精度成像和檢查。步進器能夠執行廣泛的晶圓處理功能，如光刻、電子束光刻、凹版蝕刻、激光蝕刻、幹蝕刻和離子蝕刻。NIKON NSR-1505G6E單元具有高速和高度精確的處理能力,並具有較低的擁有成本。該機配備了先進的控制軟件，在晶圓處理應用方面提供了易用性和多功能性。此外,該工具還具有與NIKON知名的Scanning Prober和Wafer Metrology Technology平臺（SP 200和NMX）集成的功能,用於自動創建晶圓地圖。NSR 1505 G6E實現了優異的光刻效果，最小光斑尺寸為10µm，高公差精度為0.5µm，確保了最優屈服優化。該資產還提供了優化的卡盤底座和晶圓處理能力,從而實現了快速對齊和標線交換。此外，該模型采用雙功能「冷板晶圓溫控」功能進行精確溫度控制，優化產量和穩定性。該設備還為方便的可擴展性而設計，使用戶可以通過經濟高效的解決方案輕松擴展產品線。NIKON NSR 1505 G6有多種配置,有多種部件和組件可根據特定客戶需求進行修改。總體而言,NSR-1505G6E是一個直觀、通用且高度可靠的系統,可實現低成本的高精度晶圓處理。憑借強大的性能和能力,該設備非常適合希望降低成本和改進生產成果的制造商。