二手 NIKON NSR 1505 G6E #9195756 待售

NIKON NSR 1505 G6E Wafer Stepper是一款先進的光刻設備,具有業界領先的性能和先進的工藝控制功能。該系統以125 nm的最小線寬能力和優異的對焦深度提供了一個整體優越的光刻體驗，並為滿足復雜基板的需求而設計。該單元設計用於處理廣泛的柔性基板，包括超高長寬比和大面積基板，確保各種尺寸的顆粒不會幹擾暴露過程。該機采用兩種集成的磁場鏡頭，提高了圖像失真和磁場平面度，有效地提高了圖像質量和分辨率。該工具借助高級自動對焦機構提供了卓越的叠加能力，該機構專為高精度和可重復性而設計。先進的模式匹配技術確保了準確的數據采集，提供了均勻性和模式放置精度。此外,資產還具有增強的背板定位模型,可減少不對齊情況,並提高曝光期間基板支架設置的準確性。該設備配備了直觀、用戶友好的自動作業編輯器，旨在確保一致的用戶性能和可重復性。此外,該平臺還配備了集成的光學HDX掃描儀,可實現精確的標線特征。此外，該系統還具有先進的OPC功能，能夠提供更高的光掩碼和圖樣精度。該裝置的先進晶圓處理技術旨在減少循環時間，從而提高了吞吐量。該機高吞吐量，結合優越的分辨率能力，可實現快速吞吐量和高吞吐量均勻性，從而確保優越的光刻效果。NIKON NSR-1505G6E專為高端可靠性和過程穩定性而設計。該工具的模塊化和高能效設計確保了操作過程中極低的維護要求。此外,該資產還提供了一套全面的數據采集功能,使其適用於各種應用程序。全球支持由NIKON提供，允許用戶將模型無縫集成到他們的生產過程中。