二手 NIKON NSR 1505 G6E #9204502 待售
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ID: 9204502
晶圓大小: 4"
優質的: 1988
Stepper, 4"
Sapphire wafer
Wafer type: Flat
Chamber type: ASAHI S7I
Chamber width: 1500 mm
Computer: PDP11
HP 5517A Laser
Wafer alignment: LSA, WGA
Wafer carrier table: Left and right
NIKON ITV Camera
OMRON Of detection, 4"
Wafer loader type: Type1
Reticle size: 5"
Reticle library slots: (13) Main slots
Rack type: Normal right position
1988 vintage.
NIKON NSR 1505 G6E Wafer Stepper是一種下一代光刻工具,用於在晶圓上創建高精度的印記。它旨在提供一種在半導體晶片上制造亞微米結構的快速可靠的方法。該設備利用先進的掃描、對準和成像系統提供高達每小時150晶圓的處理速度,同時保持高水平的可重復性和準確性。NIKON NSR-1505G6E Wafer Stepper配備了一個9英寸的光刻單元,該單元具有一系列串聯工作的組件,可以快速創建精密的光刻打印。該機器采用150毫米後置鏡頭,能夠打印分辨率高達8.5微米的圖像,最小間距為0.07微米。該工具還配備了超高分辨率圖像通道、140-GHz光柵掃描資產和自動對齊模型,以確保光刻印刷品在晶圓上的準確定位和放置。此外,該設備還能夠進行編程,以便在非矩形對象(如MEMS、光子晶體和其他特殊結構)上精確創建形狀。為便於優化制造,系統配置了各種平版印刷版,使用戶能夠制作給定應用程序所需的精確圖像和形狀。此外,該單元還配備了先進的控制機器,使用戶能夠對平版印刷進行編程和控制,以實現定制的分辨率、音高和對比度。為了增加安全性,該工具安裝在空氣密封、無塵的環境中,以最大限度地延長設備的使用壽命。資產還配備了自我診斷模型,可以提醒用戶註意任何維護要求,如更換濾鏡或清洗鏡片。NSR 1505 G6E Wafer Stepper是一種高度精確可靠的光刻儀器,能夠適應各種應用。通過結合高分辨率成像、先進的控制和對準系統以及大量的光刻面膜,該設備能夠為任何應用制作快速、可靠和精確的光刻印刷品。
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