二手 NIKON NSR 1505 G6E #9206224 待售

NIKON NSR 1505 G6E
ID: 9206224
晶圓大小: 2"
優質的: 1989
Stepper, 2" 1989 vintage.
NIKON NSR 1505 G6E是一種高精度晶圓步進器,旨在為苛刻的光刻應用提供可靠的生產力和高性能對齊。NIKON NSR-1505G6E具有6英寸晶圓掃描功能,可提供無與倫比的精度和吞吐量。步進器創新的雙功率高壓放大器設備與先進的Gunning聚焦系統(GFS)配合使用,與廣泛的專用鏡頭實現卓越的成像一致性。NSR 1505 G6E有一個集成的同步成像單元,用於將特征精確對齊到亞微米級。這臺機器可以同時精確掃描和成像布局和閘門圖樣中的所有必要參數,而無需額外的鏡頭。這大大提高了流程的效率和準確性,簡化了整體設計流程。步進器基於獲得專利的CNA Drive Tool,可在整個晶片上快速準確地對準。該資產設計為便於用戶使用,可改進流程監測。NSR-1505G6E還提供了更高的靈活性,提供了廣泛的工藝定制選項,如暗場計量、原位透鏡塗層和在線校正功能。NIKON NSR 1505 G6E還通過其先進的Clean Scan功能提高了性能。該模型旨在減少晶片受到光汙染的暴露,因為它在不同時間掃描晶片,並過濾出任何在掃描過程中可能與晶片接觸的流氓塵埃顆粒。這顯著降低了粉塵顆粒在對準過程中進入晶片的缺陷風險。NIKON NSR-1505G6E還提供了一個高級質量監視器,記錄詳細的過程歷史。這使用戶能夠在多個運行過程中監視詳細的質量性能信息。這是步進器的模模優化特性的補充,可用於提高一系列晶片光刻工藝的性能和精度。NSR 1505 G6E是一款先進高效的晶圓步進器,旨在為要求苛刻的光刻應用提供高精度和吞吐量。它具有多種功能和選項,非常適合高度復雜的流程,而高性能的對齊功能和同步成像設備使其成為任何應用程序的可靠和準確的選擇。
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