二手 NIKON NSR 1505 G6E #9207086 待售

NIKON NSR 1505 G6E晶圓步進器是一種高度先進的半導體光刻步進器。這種設備專為200毫米晶圓而設計，並結合了獨特的衍射限制光學和專利浸沒技術。Optics采用多光束掃描技術，意味著同時使用多光束來實現卓越的圖像分辨率和精度。浸入技術在透鏡和晶圓之間應用液體浸入介質，以提高精度和減少光學像差。這種步進器還具有雙光束掩模對準器，它結合了兩個光束在晶圓上精確地暴露掩模，並提供一流的邊緣放置精度和劑量均勻性。NIKON NSR-1505G6E Wafer Stepper的高級階段設計允許使用更大的基材尺寸,精度更高。其先進的大型晶片級具有600 x 600mm的XY工作面積和平滑的受控運動,可實現最佳的穩定性和精度。它還具有帶有高性能晶圓保護設備的大型工作包絡,可防止由於處理不當而造成任何不需要的掩碼或晶圓損壞。NSR 1505 G6E Wafer Stepper具有強大的晶圓掃描功能,可實現高達1200晶圓/小時的吞吐量速度。它還可以在一個周期內處理多個操作，例如在暴露晶圓掩模的同時即時寫入曝光數據。該系統還包含一個質量控制單元，該單元監測晶片對準和註冊，並在自動生產運行期間自動管理晶片到晶片的曝光點。在安全特性方面，NSR-1505G6E晶圓步進器配備了安全快門，以保護步進器在操作異常時不受損壞。它還具有人界面斷路器，在電氣過載時切斷電源。此外，還有一臺自動保護機器，用於保護光學設備免受過度輻射的危險。總體而言,NIKON NSR 1505 G6E Wafer Stepper是一款可靠、高性能的平版印刷工具,融合了一系列高級功能和安全保護,是半導體加工的理想選擇。