二手 NIKON NSR 1505 G6E #9209620 待售

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ID: 9209620
晶圓大小: 4"
優質的: 1988
Stepper, 4" Main computer: System: PDP Hard disk Disk drive: Floppy Illumination type: Shrinc type: Conversion Revolver type: Conversion Wafer stage: Chuck type: 4" Pin Screw type: Ball Reticle alignment: ISS Reticle microscope: 15 mm Wafer alignment: WGA, LSA Auto focus: Single Wafer loader: Wafer size: 4" Loader type: Type1 OF Type: Flat Flat zone: 6C In-line: No Cassette: Left, Right Control rack position: Right PPD1: No Barcode system: No Chamber type: ASAHI S71 1988 vintage.
NIKON NSR 1505 G6E是日本廠商NIKON製造的高度先進的晶圓步進器。步進器設計用於精確加工晶片,用於各種半導體元件和其他器件的批量生產。NIKON NSR-1505G6E利用NIKON亞半微米分辨率技術(SHMR)。這項技術允許在臨界維度上處理小至0.3 µm的特徵。NSR 1505 G6E實現了非常精確的叠加和圓度可重復性,並具有自動對焦設備和兩級激光曝光系統,可最大程度地減少不同步驟中的叠加錯誤對齊。這樣可以確保即使是最小、最精致的特征也能準確打印和對齊。晶圓步進器還包括一個圖像校正單元,由於環境因素自動調整到圖像中的任何位移。NSR-1505G6E每小時可處理100臺以上,最多可處理6英寸晶圓。此外,步進器還配備了高精度級、4軸高精度電機以及內部PLC機,能夠在多樣的生產環境中進行可靠、準確的操作。NIKON NSR 1505 G6E能夠處理各種模式,包括線條、對角線和模具標記。它還可以處理復雜的光學特性如透明介電膜、納米圖像和氣孔溝槽圖樣。步進器具有許多安全功能,包括允許從任何異常情況中自動恢復的恢復工具,以及用於確保清潔和安全生產過程的除塵資產。NIKON NSR-1505G6E是一種堅固可靠的步進器,設計用於在處理晶片時提供精確的工作。其SHMR技術為尖端半導體生產提供了高精度和靈活性,確保了可靠高效的生產過程。
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