二手 NIKON NSR 1505 G6E #9227620 待售

NIKON NSR 1505 G6E是一種用於半導體器件的臨界尺寸（CD）和叠加計量器件,旨在為單型和多型晶片步進器操作提供高精度結果。它能夠與各種成像基板一起操作，包括石英、熔融二氧化矽、CaF2等，設計用於微電子的各種後端和前端器件構造應用。NIKON NSR-1505G6E Wafer Stepper配備了5KW二氧化碳（CO2）激光器和集成的垂直掃描軸。它能夠產生高達0.2 µm的分辨率，並提供高達24-150mm/s的步進操作速度。其主要步進操作參數包括焦點偏移、相移、掃描重復、掃描大小和掃描方向。NSR 1505 G6E集成了多探測器優化和配置系統,具有多種專用探測器和光學設備,以及各種工具和圖像處理系統。其焦點監視器可以檢測每次曝光時焦點位置的變化，使設備達到高精度和精確度。它進一步配備了多項軟件和硬件增強功能，如其抗結構失真和焦點控制功能。NSR-1505G6E利用各種成像模式,如自上而下（L&L）、去條紋、多鏡頭和縫合,為各種應用提供最佳成像效果。它能夠同時處理多達12個塊，並且能夠在單個曝光中在單個晶片中曝光多種模式。它還配備了集成的晶圓處理系統和自動化的裝卸功能，以方便更快的處理周期。NIKON NSR 1505 G6E適用於基板平整度檢測、CD測量、抗輪廓監控、圖像增強和螺紋處理。它是Wafer Stepper系統系列的一部分,與NSR-1505模式發生器配合使用,用於電氣Wafer Level Compliance測試。它得到了NIKON全面支持和服務網絡的支持,為其客戶提供了一個符合最高精度和性能標準的可靠系統。