二手 NIKON NSR 1505 G6E #9233490 待售

NIKON NSR 1505 G6E是一種用於半導體批量生產的高性能晶圓步進設備。它能夠成像尺寸高達8英寸的晶片,並具有4倍的減少率,最大圖像場尺寸為532mm x 603mm。這種步進器配備了深紫外線水星燈，允許使用基於HeNe激光的對準系統在晶圓表面上均勻照明。它還具有0.5 μ m或0.25 μ m分辨率的高級光學單元。該機器還具有用於在成像過程中將晶片牢固夾緊到位的ElectroStatic Chuck （ESC）和Step and Scan Longer Exposure （SSLE）功能,該功能允許在晶片的整個表面均勻曝光。NIKON NSR-1505G6E還被設計成對大量晶片成像極為高效和高效。該工具具有自動晶片處理資產,它使用晶片載體、機械臂和傳送帶在測量站、裝卸站和成像站之間快速移動晶片。此外，步進器還包括配方管理模型，它允許用戶快速調整每個單獨晶片的過程設置，確保每個成像過程獲得最佳效果。該設備還具有內置的自動校準功能,可在最短的設置時間內實現高精度的成像。NSR 1505 G6E專為滿足半導體制造工藝的苛刻要求而設計,例如光刻。它還被設計為高度可靠，平均故障間隔時間（MTBF）超過50萬小時。NSR-1505G6E符合SEMI E-53和GEM（全球設備監測）標準,這意味著所有必要的數據都可以輕松地從系統中獲取,而不會費力。最後,此步進單元還符合歐盟RoHS法規,這意味著它被證明對環境的影響最小。