二手 NIKON NSR 1505 G6E #9245623 待售
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NIKON NSR 1505 G6E是一種最先進的晶圓步進器，設計用於半導體及相關行業的基板精密加工。該設備的先進技術通過基於NSR的NIKON Heavy Nano Control II平臺的剛性工作區實現了高吞吐量和均勻性。通過該機的高精度6軸運動控制系統和超高精度直驅電機單元,使基板以超高分辨率和無缺陷的可重復性曝光。該機的高分辨率、高精度和高動態定位機使基板的加工能力降至5nm。該工具采用熱穩定級設計,其3軸溫度補償範圍為0-60°C,針對超高精度的陣列設計任務進行了優化。集成的垂直/橫向定位器還可實現交錯多邊形角的精確曝光和x-y調制，確保重叠圖樣的高精度和優越的重復性。此外,NIKON NSR-1505G6E的自動場對準和跳躍校正循環具有業界領先的對準精度,可實現精確的對準和消除失真誤差。機器先進的對準精度也有助於提高缺陷檢測和粒子識別。NSR 1505 G6E包括廣泛的過程功能,包括高級載波和舞臺對齊功能、可變形狀的精確和可重復模式、閃光和變暗以及鏡像和陣列功能。其他功能包括全自動連接和操作、環境控制（如灰塵和ESD保護）,以及內置的清潔資產。NSR-1505G6E晶片步進器是一種通用且高度靈活的模型,提供卓越的性能和精確度。它具有高精度和可靠的處理能力,是任何規模的制造商的重要工具,提供高吞吐量和高質量的生產。
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