二手 NIKON NSR 1505 G6E #9261837 待售

NIKON NSR 1505 G6E是一種全自動晶圓步進器，專為大體積晶圓光掩模生產而設計。它提供了高級掃描精度和吞吐量,同時減少了零件轉換時間。NIKON NSR-1505G6E具有6級單片加載設備，能夠高效生產高精度的細紋晶片。NSR 1505 G6E設計用於處理2、6、8、12和15英寸晶圓,最大k1線性度為0.5%或更高。最大曝光波長為193 nm，聚焦調節小於2.5 μ m。其外部光學系統提供了更好的吞吐量和精密圖樣。它還提供了一個子光束寫入單元（SBS），用於在5納米或以上範圍內對高性能的標線進行精細圖案化。NSR-1505G6E具有多項功能,可確保可靠的操作和過程優化。它的板載字母數字顯示為用戶提供了訪問機器設置的權限,並提供了機器診斷和性能參數的可視化指示。其先進的數字控制軟件可確保最佳的吞吐量,即使在最困難的過程中也是如此。它還有一個自成一體的自動校準工具，只需要設置一次，即可即時召回。NIKON NSR 1505 G6E的高精確度和穩定的階段以高精度提供始終如一的高質量零件生產,從而提高產量和生產率。其自動晶片對齊器補償晶片卡盤位移誤差，最大限度地減少了手動重新對齊的需要。NIKON NSR-1505G6E配備了多種額外功能，以在操作過程中提供最大的穩定性，使部件轉換變得容易。它具有可容納各種部件的自動卡盤資產-減少了由於手動部件傳輸而導致的非生產性時間。它還具有雙級曝光以減少對齊混沌操作-以及多級曝光以方便大量零件。NSR 1505 G6E是一種高效可靠的晶圓步進器,旨在提供高精度結果。其先進的功能保證了精確的掃描精度和減少生產時間。NSR-1505G6E具有強大的設計和易於使用的界面,為大容量晶圓光掩模的生產提供了理想的解決方案。