二手 NIKON NSR 1505 G6E #9299963 待售

NIKON NSR 1505 G6E
ID: 9299963
晶圓大小: 6"
Steppers, 6".
NIKON NSR 1505 G6E是NIKON的頂級晶圓步進器,專為最先進的光刻工藝而設計。此步進器具有高分辨率和小聚焦點尺寸,非常適合制造高密度器件和高寬高比結構。它配備了專用的野外鏡頭,允許增加曝光精度。它能夠將任何尺寸的晶片曝光至8英寸,最大掃描速度為1000 mm/s。NIKON NSR-1505G6E由NIKON第五代步進平臺提供動力,為用戶提供多項功能。這包括內置智能步進技術,它在晶圓檢測、對準、曝光、舞臺移動、晶圓處理和邊緣位置精度控制等階段提供靈活性和優異性能。步進器也是完全自動化的,允許廣泛的過程參數易於編程。NSR 1505 G6E還采用了NIKON獨一無二的自適應聚焦調整技術,可以將註意力集中在飛到納米級。這樣可以確保晶片上所暴露的最佳特征的圖像保持清晰和準確。強大的掃描放大功能使掃描速度提高了一倍,同時又不影響精細的圖像形成。此功能在處理高分辨率圖像時特別有用。NSR-1505G6E是為最大的正常運行時間和可靠性而設計的。它的模塊化設計和低維護功能使其能夠輕松定制和擴展其功能。其關鍵組件易於訪問,可用於快速維護和服務。此外,由於步進器的內部過濾器和強制氣流系統,步進器可以防止灰塵。NIKON NSR 1505 G6E是制造高長寬比高密度器件或結構的絕佳選擇。其高精度的光學系統和高分辨率確保所有細膩的特征都能輕易暴露在晶片上。其強大的特性,如直觀步進技術和自適應對焦調節技術,使得尼康NSR-1505G6E一個巨大的投資,任何光刻應用。
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