二手 NIKON NSR 1505 G7 #9067646 待售

NIKON NSR 1505 G7是一種先進的晶片步進器，旨在在薄晶片上快速產生高度精確的微電子。NIKON NSR 1505G7的標線尺寸為7英寸，亞微米分辨率為50 nm，最大掃描速度為320 mm/s。它具有最大的步長和0.1 μ m的重復性，非常適合在具有復雜結構的高切口或基板上制作精細圖案。步進器還提供從4到10 μJ/cm2的各種暴露水平。NSR 1505 G7利用先進的平滑過程照明控制（SIC-IC）設備提供高分辨率、高通量的成像。SIC-IC系統使用具有4x4照明設計的可變強度激光光源和衍射受限光學器件提供均勻成像，可用於減少光阻遮罩汙染、汙染、塗抹、遮蔽。NSR 1505G7還配備了一個高度可靠和堅固的雙光束曝光單元，能夠實現高速高分辨率成像。曝光機使用四束激光束並聯對準和曝光多個晶片，從而允許更快的循環時間和提高的處理精度。該步進器還具有薄膜晶體管（TFT）柵極級光刻技術，非常適合微細電路的微細加工。它具有多分割成像（MSI）功能，可實現高長寬比特性，也可實現高精度的亞微米圖樣。NIKON NSR 1505 G7還兼具暗場和明場成像能力，使其適用於低溫多晶矽（LTPS）或光導多晶矽（PCPS）工藝等應用。步進器還配備了易於操作的工具，需要最少的用戶輸入，並提供直觀的用戶界面。這使得操作員能夠快速設置和操作步進器，並以最小的壓力和混淆。此外，步進器還配備了多種安全功能，以保護用戶免受激光光源或標線的意外曝光。總體而言，NIKON NSR 1505G7是一種先進的晶圓步進器，可用於生產高通量的高精密微電子。它能夠實現具有暗場和明場成像的高分辨率成像，並提供精確的晶圓圖樣和對準其雙光束曝光資產。它還配備了多種安全功能，可以在用戶輸入極少的情況下快速輕松地操作。