二手 NIKON NSR 1505 G7A #9160455 待售

NIKON NSR 1505 G7A Wafer Stepper是一種先進的成像工具，用於生產半導體和其他電子元件的光掩模基板。這種工具提供了一種高精度的光學成像設備，利用深紫外線（DUV）波長光來精確和一致地定義銘文在基板上的模式。NSR 1505 G7A的最大圖像場為150 mm x 150 mm,具有Vycor增強光學系統,利用軸對稱數值孔徑（NA）為0.68。這種高性能單元可以精確對準最多六個投影鏡頭，以獲得最大的視野。此外，NIKON NSR 1505 G7A可以產生高達2.4 μ m（0.096 mils）的最大分辨率，深紫外線波長為248nm。NSR 1505 G7A的主要特點是其DoF工程、階梯式玻璃變焦鏡頭和QV半導體材料。DoF工程提供均勻的景深,高斯強度分布從0.2微米到40微米,而階梯式玻璃變焦透鏡可以減少失真,並在多個放大倍數下精確查看特征。QV半導體材料具有可靠的蝕刻沈積性能，具有良好的附著力和長期穩定性。該工具具有三板圖像場穩定（TP-IFS）平臺,可確保曝光期間圖像場的最小漂移。這有助於確保所產生的圖樣與每次曝光相同。NIKON NSR 1505 G7A還有一個集成的晶片級對齊機，可以對預處理過的基板進行精確對齊，還有一個真空幻燈片級，提供可重復的晶片定心和提高生產率。該工具包括一個自動激光標記，以確保在暴露的晶片上準確定位掩模。此外,該工具還具有高性能的曝光控制資產,可執行多達八個作業設置,並一次曝光多個芯片。最後,NSR 1505 G7A Wafer Stepper與智能柔性磁盤處理程序集成在一起,可捕獲多達50個磁盤並自主執行檢查。這確保了批量生產的最佳質量和性能。