二手 NIKON NSR 1505 G7D #9045469 待售

NIKON NSR 1505 G7D Wafer Stepper是為各種應用需求而設計的精密光刻設備。它能夠在先進的半導體封裝和制造中進行能夠滿足嚴格產量要求的批量生產光刻工藝。NSR 1505 G7D是一種高精度、高通量的光刻系統,提供卓越的吞吐量、吞吐量穩定性和同類產品中可用的最高分辨率。它還旨在確保均勻穩定的曝光劑量，讓客戶生產出質量最高的半導體器件。該單元還結合了多項先進功能，如三個維度的自動基板對準、水平和垂直曝光操作的不平等曝光控制、自動基板壓痕和灰塵檢查以及各種基板處理選項。NIKON NSR 1505 G7D使用5微米狹縫，其激光二極管可產生超過200 mW/cm2最大輸出的輻射。它提供365至445nm的寬波長範圍，最長曝光時間為5 μ毫秒。它可以達到18 μ m的最小焦點，以及在較寬溫度範圍內的亞微米焦點。NSR 1505 G7D使用直接投影步進器，支持直徑達200毫米的晶圓。它還能夠處理多種基板，包括絕緣體上矽和薄膜箔。此外，它還可與光刻膠等材料配合使用，成為先進半導體光刻的理想選擇。在使用NIKON NSR 1505 G7D Wafer Stepper時，可以對掃描和聚焦參數進行編程，以處理大量具有高均勻性和屈服性的基板。此外，由於其內置的模式識別機和自動對焦功能，它還可以方便地對準和基板定心。最後,NSR 1505 G7D與口罩、印版和其他附件高度兼容。這確保了與現有光刻設備的輕松集成,並實現了不同應用之間的快速技術轉讓。