二手 NIKON NSR 1505 G7E #293589147 待售

NIKON NSR 1505 G7E
ID: 293589147
晶圓大小: 6"
Stepper, 6", parts machine.
NIKON NSR 1505 G7E是為高通量和高保真光刻而設計的晶圓步進器。它專為生產微型和納米尺寸的微芯片而設計。機器的光源是提供高水平曝光強度的激光二極管陣列。曝光面積為121mm x 121mm,聚焦深度為0.75 μ m。機器的發動機是一個獨特的伺服控制運動設備,提供平滑和精確的運動。光學系統也由這個伺服控制的運動單元供電,由兩鏡機組成,數值光圈(NA)為0.6,工作距離為3.6毫米。此工具能夠持續監控和優化其性能,從而實現最高的準確度。NIKON NSR-1505G7E還具有舞臺資產,X軸和Y軸的行程範圍很大,最大行程速度為200毫米/秒。該級模型是為熱機械穩定和限制空氣湍流而設計的。該機提供手動自動對焦(MAF)設備,用於快速、精確的對焦設置。該系統具有較長的壽命,能夠檢測到表面平坦度,從而允許在晶圓上進行更平滑的移動。機器還包括一個大容量的裝載機/卸載機單元,允許用戶在一次操作中裝卸晶圓,從而提高吞吐量。NSR-1505 G7E還包括一個大容量的晶圓盒式磁帶。它與晶片ID管理機器鏈接,以允許晶片密鑰輸入和快速晶片插槽加載。總體而言,NSR 1505 G7E是用於高通量和高保真光刻的理想機器,提供快速的加載/卸載過程、高端光學和運動系統,並且使用壽命長。是納米微芯片量產的理想選擇。
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