二手 NIKON NSR 1505 G7E #293636234 待售

NIKON NSR 1505 G7E
ID: 293636234
晶圓大小: 6"
Stepper, 6".
NIKON NSR 1505 G7E晶片步進器是一種先進的光刻設備,具有大面積投影曝光能力。它以緊湊的尺寸可靠地、快速地提供各種層級流程。NIKON NSR-1505G7E晶圓步進器的靈活設計允許在半導體器件和其他電子元件的制造中精確的制圖應用。NSR-1505 G7E帶有各種高級功能,可保持設備陣列的準確性和可重復性。該系統由NSR 1505 G7E Stepping Motor及其25 µm、5軸運動控制模塊提供動力,允許該單元執行精確、高速掃描。步進器的精度更進一步增加了先進的電機控制器,可以容納各種鏡頭設計和各種曝光參數。該機可實現高精度的叠加對準和掩模對準。它具有0.15和0.12微米的分辨率,具體取決於配置。此外,NIKON NSR-1505 G7E晶片步進器具有8英寸晶片曝光區域,樣品加載速度高達2分鐘。各種照明角度和激光交火掃描功能為難以到達的曝光區域的應用提供了更大的靈活性。NSR-1505G7E配備了FUJINON Endura SNM-100k放大鏡頭,可提供廣泛的曝光範圍和分辨率精度。它還提供了一個大容量晶圓處理工具,具有高達8英寸的晶圓曝光面積。資產還支持各種分析工具選項,提供了檢查曝光設備狀況和曝光效果的有效方法。NIKON NSR 1505 G7E晶圓步進器的設計旨在提高工藝速度和簡化操作。它的光學設計允許精確的監測和控制模型,允許快速和準確的曝光參數。總體而言,NIKON NSR-1505G7E是一種小巧但功能強大的光刻設備,為各種設備制造過程提供精確的圖樣。
還沒有評論