二手 NIKON NSR 1505 G7E #293637485 待售

NIKON NSR 1505 G7E是一種專業級晶圓步進器，用於制造精密半導體器件。該步進器能夠在不損壞電路組件的情況下對任何材料的盡可能小的結構進行陣列設計。它能夠在直徑可達150毫米的晶片上產生極精確的圖樣，原始步長分辨率為±（5 µm），覆蓋精度為±（2.5 µm）。NIKON NSR-1505G7E采用獨特的雙柱設計，將兩根86mm柱合並成一個更大、更堅固的結構。這種柱式布置確保了陣列制作過程的每個步驟都更穩定、更準確、更無變形。步進器還配備了改進的激光脈沖校正設備，有助於在不同厚度的基板上提供精確的圖樣。NSR-1505 G7E具有高分辨率掃描系統,可支持多達8個巨型像素成像。這個單元提供非常高的像素分辨率，在每個晶圓上高達120,000個圖樣/毫米（方形間距）。這臺掃描機配有改進的二維級掃描儀，提供卓越的運動性能，減少脈動不規則。NIKON NSR-1505 G7E的標線掃描儀采用自動位置識別和改進的分鏡式自動跟蹤工具。這兩個特性的結合提供了整個晶圓表面快速準確的對準測量。先進的晶圓裝載機資產有助於輕松地提供和管理頻繁的晶圓更改。NSR 1505 G7E還提供了許多高級流程控制。具有精確控制暴露劑量、晶片級溫度和濕度以及工作溫度的能力。此外，步進器還能控制焦點和光束傾斜，使制圖過程更加精確可靠。NSR-1505G7E是任何苛刻的高通量半導體生產環境的理想選擇。它能夠可靠地、準確地處理高級流程,是任何需要頂級性能的操作的重要補充。