二手 NIKON NSR 1505 G7E #293665026 待售

NIKON NSR 1505 G7E Wafer Stepper是一種先進的光刻工具,旨在降低成本和提高半導體制造的吞吐量。它是一種光學成像設備，設計用於對準、光刻和工藝計量應用。該工具具有0.75的備受贊譽的高性能數值孔徑（NA）-分辨率高達90nm,是業界最高的。該系統旨在滿足註冊關鍵型應用程序中要求苛刻的標線對齊和覆蓋精度要求。NIKON NSR-1505G7E Wafer Stepper的先進設計能夠提供一致的光學成像性能和卓越的整體精度。該單元采用具有高速步進定心能力的直驅、低慣性掃描儀和由可旋轉鏡框、折射鏡片、高效準分子激光組成的光機，提供較長的分選性能壽命、較高的均勻性、較低的對準誤差。NIKON 1505 G7E Wafer Stepper具有全自動DOF和高精度配準工具,可確保最小的芯片高度變化。還包括一個SEMI-stANDIZED透鏡塗層資產，以解決模式收縮問題。該模型包含一個內置的設備測試模式，用於檢測和校正輻照中潛在的不均勻性。它還具有尖端的高速鏡面驅動系統,可實現最高精度的對準和成像。NSR-1505 G7E晶圓步進器兼容多種圖像格式,包括45度、90度、180度、尖端/傾斜或傾斜/旋轉對稱和六邊形/正方形反轉。它還具有內置的陣列編輯器,使用戶能夠創建用於精確陣列和成像的自定義設計。該單元還包含一個高效的焦點檢查處理器,用於測量用戶定義站點的焦點敏感性。此外,該工具還配備了一個創新的熱管理機器,用於控制現場失真和/或非均勻性。NSR-1505G7E Wafer Stepper是一種易於使用的高性能成像工具,它簡化了光刻工藝並提高了精度。該資產被設計為與廣泛的底物一起工作，包括石英、矽、二氧化矽、砷化氙等等。此外，該模型幾乎完全符合任何流程的概念，並且完全可以根據流程和流程模塊的具體需求進行定制。