二手 NIKON NSR 1505 G7E #293717121 待售

NIKON NSR 1505 G7E是一種5軸晶圓步進器，設計用於大容量晶圓處理安裝。NIKON NSR-1505G7E設計為提供堅固和高精度的光刻技術,即使在最具挑戰性的生產環境中也能產生可靠的結果。該產品采用150 mm × 150 mm的車架尺寸和40 mm的XYZ行進和5軸運動設計。步進器配備了NIKON原始的5軸技術，允許3-D成像，提高了精度和吞吐量。NSR-1505 G7E還具有快速曝光激光器，可提供從25˚C到+50˚C的擴展工作溫度範圍。步進器有一個高頻照明設備，其設計使用高精度元件在整個晶圓表面產生均勻的照明。該系統提供了五個軸之間的可調能量分布。NIKON NSR-1505 G7E還具有自動晶圓位置控制單元,以確保基板對齊一致且可重復。步進器配備了8英寸接觸圖像傳感器（CIS），可以檢測和測量晶圓上單個圖像的高度偏差。這確保了滿足0.2微米線寬和接觸模式要求的最高精度。可選擇高精度放大訓練機，進一步提高精度，減少線寬變化。NSR 1505 G7E提供靜音操作，無振動運動工具，自動對準晶片邊緣，以及出色的劑量控制。步進器的設計支持範圍廣泛的晶圓尺寸和類型，以及種類繁多的輻射源，包括ArF激光、UV LED和UV激光器。此外,步進器還具有用戶友好的高級控制軟件,可提供穩定性和準確性操作,從而提高生產效率並提高成本效益。操作數據易於訪問,並且自動操作可以從運行到運行以相同的結果重現。總體而言，NSR-1505G7E是大體積半導體織物的完美光刻解決方案。先進的特性使其成為行業中最可靠、生產力最高的晶圓步進器之一。