二手 NIKON NSR 1505 G7E #9195757 待售

NIKON NSR 1505 G7E晶圓步進器是一種用於處理半導體集成電路的高端、精確曝光設備。它專為量產而設計，能夠進行快速、精確的晶圓曝光，具有高度可靠的雙光束系統。該G7E的分辨率為0.5 µm,當與超過180 mm的放大倍率一起使用時,可提供13倍的降低。這使得它非常適合現代生產節點上的精細陣列。它配備了一個模具到模具分辨率剖面監視器，可以準確地測量每次拍攝前後的暴露劑量，以確保適當的暴露。該G7E還具有高速分層模式，允許快速晶圓處理。該單元帶有各種鏡頭偏移和磁場。這確保了低到中等水平的模式，甚至在整個晶圓區域內的高度精確的曝光。該G7E提供長距離曝光模式,允許長距離曝光,光學像差校正機（OACS）可確保最高精度。此外,該工具的光學元件采用內置校準機構進行設計,使維護人員能夠快速執行校準檢查和調整。該G7E包括一個全自動視覺資產，允許全面晶圓檢查和缺陷檢測。此外,該模型還配備了周期時間優化設備,減少了操作過程中的任何停機時間,以及用於監控晶圓厚度和尺寸的串聯晶圓計量系統。該G7E具有易於使用的用戶界面,為幫助加快爬升周期,它提供了一個集成的序列轉換單元,可自動將設計數據轉換為適合生產的格式。此外，它還配備了即時反饋機，提供有關曝光窗口進度的實時信息。尼康NSR-1505G7E晶片步進器是當今市場上最先進、最精確的曝光系統之一。憑借其高精度光學、內置校準機構和直觀的用戶界面，該工具為晶圓處理需求提供了絕佳的解決方案。