二手 NIKON NSR 1505 G7E #9261836 待售

NIKON NSR 1505 G7E是一種高端晶圓步進器，用於多種光刻應用，包括半導體器件生產、OLED器件結構制造、印記光刻。這種晶片步進器的設計提供了極好的對準精度和重復性，使精確晶片定位和精確的圖樣能力。NIKON NSR-1505G7E配備了全場二極管激光對準設備，以提高曝光膜對準的精度。這種晶片步進器的緊湊設計為光刻生產提供了一個緊湊高效的平臺，每小時處理多達150個晶片的能力確保了高吞吐量和快速的生產時間。NSR-1505 G7E具有5軸電動級,可同時容納150個晶圓。這種5軸系統包括電動線性和旋轉級，在X、Y和R軸上的最大級行程為100 mm。此外,在X和Y軸上,橫向級行程可達200毫米。集成的光學單元允許將每個曝光點高精度地放置在聚焦平面上。光學機器還使用戶能夠調整曝光的位置、放大倍數以及每次曝光的場徑。此外,NIKON NSR-1505 G7E提供1或5 um的可選分辨率,使用戶可以在對準精度較高或曝光精度較高之間進行選擇。NSR 1505 G7E還具有集成的背面照明工具和自動背面凹痕檢測功能。此背面照明資產在膠片曝光期間提供了更高的對比度,並允許用戶查看和檢查可能存在的任何背面特征。自動背面凹痕檢測模型能夠檢測可能影響曝光質量的任何背面凹痕或缺陷。NSR-1505G7E還具有專利的超低慣性環境隔離結構，可用於晶圓步進器的優越操作。這種結構設計用來懸掛光學設備，從而消除來自環境的任何振動或沖擊的影響。此外,NIKON NSR 1505 G7E能夠進行晶圓級、芯片級和亞微米級的曝光,從而在光刻生產中獲得最大的靈活性。這種經濟高效、高性能的晶圓步進器是任何光刻生產需要的理想選擇。NIKON NSR-1505G7E能夠為各種芯片結構提供高精度曝光,並且每次都能持續提供優異的效果。這款晶片步進器腳印低,性能優異,是任何光刻生產的絕佳選擇。