二手 NIKON NSR 1505 G7E #9386319 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 9386319
晶圓大小: 6"
優質的: 1990
Stepper, 6"
ASAHI S75 Chamber
Chamber temperature: 23°C
Fixed reticle microscope, 15mm
PDP-11/73 Computer
HP 5517A Laser
LSA Laser: 5 mW
ITV Camera
Wafer condition: Silicon
OF Detection
Wafer loader: Type 1
Wafer carrier table: Left / Right
Reticle, 5"
No lens data
Rack type: Right
Electric source: NEMA Box
CVCF
1/2 Switch
1990 vintage.
NIKON NSR 1505 G7E是來自NIKON的高性能晶圓步進器,為光刻應用提供了卓越的精度和吞吐量。它是同類產品中最先進的步進器,具有業界領先的± 4 µm的圖樣放置精度和± 10 nm的CD均勻性。它采用超色色差減少光學設備（CAROS）,提供卓越的成像質量和最高的模式保真度和可重復性。NIKON NSR-1505G7E具有高達250 W的光源、多重曝光模式和曝光能量7。它具有5.5英寸x 5.5英寸的大光學場和140 nm或以下的增強分辨率。步進器利用獨特的RCAS（健壯的校正算法整形）光學系統進行優越的圖樣開發,其特點是鏡片失真和投影精度差異較小,像差值大大降低。為了提高曝光精度,G7E提供了創新的「曝光比率監視器」,它提供實時反饋,以保持最佳邊緣振鈴和失真特性。NSR-1505 G7E包括一個自動二色濾色器炮塔，它可以方便地改變光譜。它還配備了一個可簡化場平整校正的自動對焦單元，以及支持高精度晶圓掃描的可變激光/場內平整/校正棒。「最佳適應原則」進一步提高了G7E的暴露精度，該原則提供了最佳的暴露能量設置和配方開發。NSR 1505 G7E的其他功能包括風冷焦平面快門、自動晶圓對準機、兩級晶圓速度調整以匹配所需分辨率,以及提供更好數據管理和安全性的板載操作系統。通過提供卓越的成像和精度，G7E是晶圓步進技術的行業標準。它非常適合從無晶圓廠芯片制造到高端成像解決方案的廣泛應用，如MEMS、納米光刻和微電子生產。
還沒有評論