二手 NIKON NSR 1505 i10D #146913 待售

NIKON NSR 1505 i10D是一種用於半導體芯片生產的高精度、先進的晶圓步進器。它配備了尖端的光電回波技術，提供精確和吞吐量，以滿足苛刻的、大容量的光刻需求。NSR 1505 i10D具有10nm激光陣列、1 nm覆蓋精度和250 mm場面積。它能夠快速、準確地暴露每晶圓1-3個圖案層，其1 mm C形臺階設計為減少臺階應力和振動誘導的圖案放置誤差。它還配備了高端單角照明系統，以實現卓越的照明均勻性，從而實現極其密集的圖案。NIKON NSR 1505 i10D的光電力學提供卓越的光刻性能。它具有專有的4微米壓電驅動直線運動級，保證晶圓和級的同時運動具有很高的穩定性。此外,基於晶片級的方法將步進器的補償範圍擴展到250 μ m,並允許對局部和全局失真進行高效的即時補償。此外，NIKON InCelli Transfer Technology提供非接觸晶片傳輸，以減少步進器的足跡，而無需外部傳輸設備。宏預覽功能在曝光前分析布局的主要特征並補償全局模式失真,同時選擇適當的焦點和叠加值以優化曝光策略。NSR 1505 i10D還配備了專門的照明頭，旨在改進無粒子圖樣。這有助於減少無油粒子和光致抗蝕劑混合造成的粒子，以及3束同時照射以提高旁通檢查性能。它以一個全面的服務包為後盾,該服務包提供一流的工具可用性和高效的維護,並最大限度地減少中斷時間。步進器的用戶友好環境包括高端PASIV™圖形用戶界面和廣泛的操作自定義可能性。總體而言,NIKON NSR 1505 i10D是用於半導體芯片生產的先進、高度精確的晶圓步進器,具有尖端的光電回波技術,可提供卓越的精度和吞吐量,滿足苛刻的高容量光刻需求。