二手 NIKON NSR 1505 i6A #293817954 待售

NIKON NSR 1505 i6A是為光刻工藝設計的高性能、高精度晶圓步進器。它配備了數字伺服電機、閉環光學透鏡設備和強大的持有者感應能力等諸多前沿特性。NSR 1505 i6A能夠產生分辨率為1.3 μ m、最小缺失值為1.0 μ m的圖像,全自動對準,同時能夠精確重復預定的曝光劑量。NIKON NSR 1505 i6A的光學系統包括一個專利的大光圈、高數值光圈（NA）鏡頭單元，它裝有數字伺服電機。Digital Servo電機使機器能夠執行高精度的超靈敏操作，並達到最大速度、精度和分辨率。當需要精確重復曝光劑量時,NSR 1505 i6A的持有者感測能力也非常有用,因為該工具能夠檢測晶圓持有者表面水平的精確變化。NIKON NSR 1505 i6A能夠產生高達1.3 μ m的高分辨率圖像,具體取決於需要成像的特征。它還具有全自動對齊資產,它簡化了對齊過程並使其更易於處理。該模型還提供了均勻的曝光劑量，保證了高光刻工藝穩定性。它可以容納50至200毫米大小的各種晶片以及許多不同的光掩模尺寸。簡而言之，NSR 1505 i6A是為高精度光刻工藝設計的精密晶圓步進器。其特點是配備了數字伺服電機的高NA鏡頭設備、持有人感應能力和全自動對準系統，以實現精確的劑量可重復性。NIKON NSR 1505 i6A可容納各種晶片,使其能夠產生尺寸達到1.3 μ m且曝光劑量均勻的高分辨率圖像。NSR 1505的許多功能i6A使其成為最高精度光刻工藝的首選工具。