二手 NIKON NSR 1505 i6A #9281881 待售

NIKON NSR 1505 i6A是為高級光刻應用而設計的晶圓步進器。它是一種超緊湊的光線跟蹤光刻系統，能夠產生最大場大小為150毫米的高分辨率圖樣。NSR 1505 i6A的集成KrF （Krypton Fluoride）準分子激光光源可實現200 nm以下分辨率。它與KrF和ArF（Argon Fluoride）激光器的兼容性使得設備生產成本低，而其創新的I線聚焦多重照明則提供了增強的特征精度和分辨率。NIKON NSR 1505 i6A通過1024 ch數字編碼器、高精度對準和高級無標線可編程級的組合,提供簡單精確的對準和曝光。它配備了圖像對識別系統，使其能夠精確對準材料，從而無需視覺系統。此外,其400mm/s的最大階段掃描速度顯著減少了曝光時間。此外，NSR 1505 i6A還配備了兩個完全可定制的軟件包。自動步進控制器（ASTC）允許實時曝光控制，而自動光刻協調員（ALC）則允許多模具陣列和工藝參數優化。其用戶友好的圖形用戶界面使操作快速而簡單，而內置的無憂線延遲補償則確保了盡可能高的硬件精度。此外,NIKON NSR 1505 i6A能夠通過外部安裝的連接器升級其功能,從而允許用戶使用其他組件自定義其系統。這有助於提高高效的生產效率,而不必打破銀行體系。其高水平的可操作性、對晶片的輕柔處理以及優化的晶片對準，保證了多年的可靠高效運行。因此,NSR 1505 i6A是先進、經濟高效的光刻技術的絕佳選擇。