二手 NIKON NSR 1505 i7A #293634869 待售
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ID: 293634869
晶圓大小: 4"
i-Line stepper, 4"
Non-funtional parts:
Circuit boards: A-5, A-9, A-13, A-17, A-19, A-23, A-34, A-35
(3) Motor modules RT
Z/Theta stage motor module
Stage screw
X-Y Axis motor
Mercury lamp base
Power supply of each module
Wafer and reticle handler of module motor
FIA.
NIKON NSR 1505 i7A是為滿足最苛刻的光刻要求而設計的前沿深紫外線晶片步進設備。它提供了卓越的覆蓋精度、廣泛的曝光工具以及處理直徑不超過7英寸的晶片的能力。NIKON NSR-1505I7A利用一種強大的數字控制5mW I-Lin ArF激光器，能夠使用各種曝光劑量。該系統配備了一個集成的近場校正器（NFCs）攝影還原單元，通過為非正交畸變提供先進的掃描場平整功能，提供了卓越的性能和準確性。這得益於創新的平面波照明機，它提供了卓越的均勻性、減少的像差和高分辨率。此外,NSR 1505 I7A還配備了高容量對準工具,可為所有曝光條件和應用提供卓越的對準精度。對齊資產包括一個高分辨率的Sub-Micron平臺，以及一個正在申請專利的自動選擇性標線對齊（ASRA）模型。ASRA設備還提供高級叠加測量,以確保每個樣品都精確對齊。NSR 1505 I 7A的曝光系統也可以配置為處理不同尺寸、厚度和曝光要求的晶片。這是使用正在申請專利的Variable Tuning Option完成的,該選項可以快速設置,並針對每個應用程序的特定需求進行定制。此外，NIKON NSR 1505 I7A還配備了廣泛的合規性和暴露測試。這包括能夠執行高精度的叠加測量、曝光驗證測試以及廣泛選擇的晶圓曝光均勻性測試。總之，NSR-1505I7A是一個優越的晶片步進單元，具有廣泛的曝光工具，並能夠處理晶片到7英寸大小。NSR 1505具有先進的曝光機、NFC攝影還原工具、正在申請專利的可變調諧選項、叠加測量、曝光驗證測試以及廣泛的晶圓曝光均勻性測試,是許多要求苛刻的光刻應用的理想成像資產i7A
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