二手 NIKON NSR 1505 i7A #9226269 待售

NIKON NSR 1505 i7A Wafer Stepper是NIKON Corporation的一種高性能光刻工具，適用於廣泛的微加工工藝。NIKON NSR-1505I7A建立在NIKON NSR系列光刻工具的遺產基礎上,為整個基板的圖樣傳輸提供了卓越的精度。步進器設有兩個獨立的曝光室，每一個都可以用來處理8英寸的晶圓。這使得它成為需要精確控制和最高工作效率的應用程序的理想選擇。該設備可用於生產各種芯片和晶片圖樣，其柔性照明系統允許圖樣可重復性和步進掃描操作。除了晶圓處理功能外,NSR 1505 I7A還提供卓越的控制和檢測功能。其先進的對準單元利用活動目標檢測器和參考目標檢測器，以確保最大精度的模式傳輸精度。它還提供了一個精確的聚焦檢測機，以確保基板保持在最佳聚焦範圍內。集成孔徑工具允許對曝光場大小和形狀進行精細調整。NSR 1505 i7A能夠產生特征尺寸低至0.3微米的圖樣，在1微米線和空間區域內的總體圖樣精度為0.1微米。對於更高的精度和吞吐量，資產有一個內置的叠加分析算法。這一特性使得快速評估和調整模式傳輸過程的質量成為可能，從而節省了生產周期中的時間和資源。在安全性方面，步進器按照OHSAS 18001和ISO14001標準設計。它具有高效率的冷卻模型，以保護暴露的元件免受高溫處理。還內置了緊急停止按鈕，以確保用戶的最大安全。最後，NSR 1505 I7A晶圓步進器是一種適用於各種微加工工藝的高性能光刻工具。它提供精確的控制、精度和速度,使其成為各種生產和工程應用的理想選擇。它提供了高度的安全和保護，使其成為適合任何生產環境的選擇。