二手 NIKON NSR 1505 i7A #9226270 待售

NIKON NSR 1505 i7A是一種先進的晶圓步進器,它允許在制造各種微型設備時使用一種非常精確、經濟高效的解決方案來制作光掩模。這臺機器設計用於生產和檢查小至190 nm管線/空間的設備。它提供了與OpenValuePhotomask （OVP）軟件兼容的集成設備,提供了易於使用的自動化平臺和高效的設置過程。NIKON NSR-1505I7A是一個5軸、平行光束、照明蒙版掃描系統，利用高分辨率投影透鏡將圖像聚焦到蒙版或晶片上。它在x軸和y軸方向上提供40 mm的字段大小,可用於100 nm以下的陣列。粘合選項允許降低蒙版生產成本,從而使機器成為大批量生產的理想選擇。NSR 1505 I7A允許雙面曝光,兩側均具有獨立的曝光頭。一個可調的熱控制單元確保精確的過程溫度，以更好的過程控制。內置的對齊機可實現精確的叠加分析，允許在晶圓上精確放置不同的圖樣。該機還提供自動掩模傳輸和晶片傳輸等功能,以及自動晶片卡盤定位機構,可實現精確、快速的晶片定心。此外,NIKON NSR 1505 I7A具有高分辨率測量功能,能夠識別小至70 nm的掩模特征。該i7A配有三維自動對焦工具，可以精確對準掩模和晶片，提高晶片對晶片的均勻性。歸根結底,NSR-1505I7A是一個功能強大、準確且可擴展的晶圓步進器,旨在提供經濟高效的生產過程,並取得優異的效果。利用先進的自動化能力和高能力的光學資產，這臺機器是先進的掩模制造和檢驗的絕佳解決方案。