二手 NIKON NSR 1505 i7A #9226271 待售

NIKON NSR 1505 i7A
ID: 9226271
晶圓大小: 6"
優質的: 1990
Stepper, 6" 1990 vintage.
NIKON NSR 1505 i7A是一種先進的晶圓步進器,用於需要高精度和精確度的先進半導體生產。它有一個獨特的動態掃描設備(DSS)和一個I線光學圖樣發生器,以允許高速,精確晶圓圖樣。NIKON NSR-1505I7A配備了高分辨率陰極射線管(CRT)以實現敏感圖像輸出。高分辨率步進鏡頭組件和2.4倍減速鏡頭可減少像差誤差,同時提高精度和產量。NSR 1505 I7A由高速數字成像控制器控制,可實現比以往更高的精度和速度。NSR 1505 I 7A設計用於處理各種晶片,從2英寸、4英寸、6英寸和8英寸晶片,對基板裝卸進行全自動處理。它能夠使用i-Line、G-Line和I-Plus波長進行步進曝光,在4-6秒曝光時可產生8至10 mJ/cm2的曝光水平。手傾晶片級可以方便地進行模具對準和校正,以滿足獨特的晶片要求,如薄片或通矽通(TSV)。NSR-1505I7A具有優化的掃描速度,能夠達到30 mm/sec的最大掃描速度。這樣就提高了吞吐量,這對於大批量生產至關重要。這也減少了對額外設備的需求。此外,NIKON NSR 1505 I7A具有全面的自我診斷和晶圓跟蹤功能,可持續監測整個系統。這有助於確保生產過程中的高水平設備性能和連續性。NIKON NSR 1505 I 7A還具有創新的用戶界面,使操作員能夠輕松訪問所有機器功能。總體而言,NSR 1505 i7A是一種高級晶片步進器,具有一系列高性能特性,使其成為先進半導體生產的理想解決方案。它的速度、準確性和多功能性都是使其能夠產生可靠和高質量晶片的關鍵優點,而其直觀的用戶界面和全面的診斷有助於確保高水平的工具性能。
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