二手 NIKON NSR 1505 i7A #9226273 待售

NIKON NSR 1505 i7A是一種全自動晶片步進器，經過優化，可用於高分辨率光刻技術的超前微制造應用。此步進器設計精巧,性能卓越。NIKON NSR-1505I7A具有較大的工作區區域,最多可處理7英寸晶圓。利用其集成的成像技術和最先進的光學，這種步進器可以產生高場平坦度的高精度和一致的模式。它具有亞微米的模式精度，能夠達到低至0.25 µm的分辨率。而憑借其較大的景深聚焦範圍，可以產生高達5µm的特征。它還具有先進的鏡頭對準校準程序，允許每個曝光周期的最佳分辨率和圖像位置。NSR 1505 I7A還具有用於控制晶圓的X、Y和Z軸的計算機控制級,以及用於定向晶圓的高精度旋轉級。這個精密級具有350mm的延長行程距離，最大掃描速度高達350mm/s。此外,此步進器還包括一個精確的真空卡盤,用於在曝光期間保持晶片靜止.NSR-1505I7A還具有板載處理基礎架構,以減少設置和周期時間。它有一個具有兩級旋轉塗層和烘烤工藝的自動晶圓處理系統，以及一個自動化的物料傳輸系統來提高吞吐量。除了靈活性和準確性外，NSR 1505 I 7A也是一款環保步進器。它具有低功耗、低熱量產生,並且可以在近乎靜音的情況下運行,以便在實驗室和清潔室環境中使用。憑借其先進的技術,NIKON NSR 1505 I7A提供了一種可靠、高效的光刻技術。