二手 NIKON NSR 1505 i7A #9226277 待售
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NIKON NSR 1505 i7A晶片步進器是一種精密的器件,設計用於繪制具有高分辨率和重復性的半導體晶片表面圖案。它是一臺綜合性機器,能夠將各種成像圖樣傳輸到晶圓表面。步進器以Nikons 7A i-line光學臺為基礎,利用數個成像透鏡來產生低至25 nm的廣泛影像解析度。晶片步進器能夠處理300毫米(12英寸)的晶片,並且對於最高解析度的成像,在長曝光時間下效率很高。步進器還與各種基材和光阻材料兼容,使其適用於半導體行業內的多種用途。NIKON NSR-1505I7A晶圓步進器充滿了特性。它支持用於單個和/或多個晶片的手動和夾具托盤,並具有可調的堅固性,可實現最佳成像處理。該機利用雙軸同步電動級提供0.5 μ m增量XY級精度,具有較高的對準精度和可重復性。步進器除了具有冷卻和加熱能力外,還具有車載光學器件,用於檢查晶圓地形,以確保最大產量。掃描儀允許以0.7秒的曝光時間進行19秒的視場,從而提高了模式傳輸要求。NSR 1505 I7A晶片步進器的設計考慮了安全性和可靠性.它具有「綠色」節能設計,比其他系統的功耗低75W。它還具有先進的空氣過濾系統和電子控制系統,這兩個系統都是經過驗證的安全清單的一部分。為確保最大效率和性能,NIKON為NSR 1505 i7A晶圓步進器提供了服務和維護選項。如果使用得當,這臺機器將在今後數年內提供準確、可靠和可重復的表面成像。
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