二手 NIKON NSR 1505 i7A #9299960 待售

NIKON NSR 1505 i7A晶片步進器是為半導體器件量產而設計的先進高精度光刻設備。NIKON NSR-1505I7A提供無與倫比的性能,非常適合中、低體積沈積光掩模和其他產品。它具有全自動、快速更換的裝載機/卸載機,能夠同時交換晶圓、掩模、板和基板。NSR 1505 I7A配備了NIKON最先進的CCD廣域成像系統和先進的光學器件，用於晶圓和光掩模的精確光學對準。該成像系統可實現高分辨率成像,以極高的精確度解決非常小的設備特征大小問題。CCD成像系統由兩套鏡頭和一臺針對光刻優化的高分辨率CCD相機組成。CCD相機的最大成像面積為256mm x 256mm，支持所有標準的光掩模和晶圓尺寸。使用相機進行晶圓映射、邊緣檢測和對準,可以精確對準掩模和晶圓。該裝置還配備了高性能的Chamber One抵抗取回機，旨在減少阻力去除時間，最大限度地減少阻力消耗。它包括一個高真空室、一級轉移工具和一個高壓二氧化碳射流資產，用於有效的抵抗去除。該模型還具有高精度的曝光設備,旨在在整個晶片表面提供高精度的抗蝕性曝光,並具有出色的均勻性。NIKON NSR 1505 I 7A還具有高精度的分級系統，支持晶圓和光掩模的平穩準確的放置和移動。該單元包括一個高速振動器和高分辨率執行器，用於晶圓和照片放置的精確調整。分級機還配備了可伸縮的晶片跟蹤工具，可以調整以支持多個晶片，同時為關鍵操作啟用手動去除晶片。NSR 1505 I 7A還配備了專門的檢查和對準資產，可以檢測缺陷並進行精確的對準和圖像校正。該模型能夠檢測到小於2微米的粒子，並具有NIKON多步模式識別設備，以實現快速、精確的對準。該系統還支持晶片在沈積和曝光過程後對齊，以確保工藝的最高質量。NIKON NSR 1505 I7A是一種先進的高精度晶圓步進器，非常適合中小體積光刻操作。它為光掩模和晶片的生產提供了卓越的準確性和統一性，它的全自動交換單元和高性能的抵抗檢索和檢查系統能夠實現高效和始終如一的高質量結果。