二手 NIKON NSR 1505 i7B #293748560 待售

NIKON NSR 1505 i7B Wafer Stepper是一種半自動光刻設備，設計用於精密蝕刻、曝光、成像和其他臨界光刻步驟。其多功能性和魯棒性設計非常適合半導體、光掩模和微流體器件制造應用。該系統提供了大量的精確陣列和成像功能。該設備采用大型V-Toen掃描儀,能夠掃描最大6 x 6英寸（接觸）的晶片。掃描儀提供了在各種方向上移動步進頭的靈活性，包括半自主和自動操作模式。較大的格式還可以減少模具尺寸的變化，並在陣列制作過程中提供更高的精度。還包括一種先進的螢石透鏡，用於最佳的低像差成像和減少有害幹擾。NSR 1505 i7B Wafer Stepper提供了高分辨率陣列的卓越功能。其可擴展的光刻特性包括型式生成、模具尺寸優化、型式對準和放置，以及二次采樣。該機還具有支持向量機（SVM）算法,用於改進流程配方優化和自動模式學習配置文件選擇。該工具支持一套全面的光刻技術，如多曝光成像、直接成像、邊緣曝光成像、亞半微米分辨率成像和柔性曝光劑量控制。NIKON NSR 1505 i7B還可以支持廣泛的化學方法，如光刻膠顯影劑和光活性敏化劑。該資產包括自動屏蔽功能,使用戶無需模式文件即可快速生成模式。NSR 1505 i7B Wafer Stepper具有全自動的6軸電動級和自動化的In-Situ端點控制模型。該設備具有很高的可重復性，能夠在各種基材和材料上實現出色的分辨率和減少顆粒汙染。該系統還配備了一整套滑塊、按鈕和滾動器，為用戶提供了對所有光刻參數的輕松訪問。該設備由最新的NIKON Process TCAM軟件包提供動力。這有助於在整個制造過程中確保出色的打印、精度和準確性。該軟件包允許使用圖形工具欄和自定義快捷鍵進行簡單直觀的操作。它還包括一個預先定義的配方和圖案發生器庫，展示詳盡的光刻和測量指令，並提供對最新參數和工藝設置的快速訪問。總體而言,NIKON NSR 1505 i7B Wafer Stepper是一款先進、用戶友好的光刻機,專為半導體、光掩模和微流體器件制造的高精度蝕刻、成像和圖樣設計。其強大的功能、可擴展性和自動化功能為各種應用程序提供了卓越的性能和成本效益。