二手 NIKON NSR 1755 G7A #9159079 待售

NIKON NSR 1755 G7A是為高級光刻工藝設計的高精度晶圓步進器。它是一種全自動、單鏡頭、掃描儀式的投影設備,無需手動對準即可快速重復。該系統采用0.75-NA的深紫外光源進行經濟高效的光刻，旨在先進生產65納米。NIKON NSR-1755G7A投影單元包括三個主要組成部分：光學、照相機和光源。光學機融合了投影鏡頭和成像鏡頭兩個鏡頭，使影像能夠精確精確的聚焦，並使用Deep Ultra-Violet （DUV）照明來對晶片成像。攝像機將圖像投射到4英寸的標線圖像平面上，從而能夠使用常規的4英寸的蒙版標線。NSR-1755 G7A晶片步進器的照明工具是一個可變數值孔徑（V-NA）單元，由於計算機對孔徑的控制，允許較大的景深和較寬的視野。照明源是一種雙放大器、源和環型資產，旨在方便將微小的電路細節投影到4英寸的標線上。它還具有真空密封級結構，不需要外部排氣管。NSR 1755 G7A晶片步進器使用三維自動化焦點控制技術，以確保數據在晶片上的精確逐層註冊。它具有高精度和快速響應的階段，它允許晶片在曝光區域的快速和準確的定位。該模型還具有內置對齊鏡,無需手動對齊標線。最後，該設備具有高精度相機跟蹤系統，提供了晶圓曝光數據的快速準確的定位。總體而言,NSR-1755G7A是一種先進高效的晶片步進器,具有多種功能,能夠快速、準確和可靠地生產先進的65納米光刻設備。它非常適合生產LED和半導體，以及任何其他需要精確光刻工藝的產品。