二手 NIKON NSR 1755 G7A #9226367 待售

NIKON NSR 1755 G7A是一種5軸晶圓步進器，配備了先進的遠心光學器件和具有最大對準精度的先進180°快門。其高的防塵性防止顆粒進入機器，確保了可靠的晶圓處理。NIKON NSR-1755G7A具有0.1 μ m/像素分辨率和21 nm鏡頭尺寸精度的高精度和高速模式生成,以及低占地面積和高生產率的設計。步進器采用雙夾緊機構來處理200毫米和300毫米基板。它配備了大容量的卡帶裝載機，最多可容納7個卡帶，並提供無縫的基板傳輸，防止時間損失和提高生產效率。步進器的設計有利於出色的分辨率、精確的對準和優化的吞吐量。它的遠心光學器件能夠減少像差,而180°快門功能可確保高精度對準,並改善在每個曝光點形成的線的對準。快門角度可以很容易地調整為微調模式。此外，它的雙夾緊方法降低了系統總吞吐量，並提供了200和300毫米基板的有效處理。使用NSR-1755 G7A，用戶可以訪問各種工藝模塊，如光刻、晶圓曝光、膠片顯影和等離子體蝕刻。光刻模塊提供晶圓的5軸運動和各種傳感功能，允許特征的精確曝光。晶圓曝光模塊能夠以0.1 μ m/像素的分辨率進行高精度打印,並通過單次打印獲得粉末損耗。薄膜開發模塊還通過其優化的盒式磁帶傳輸系統提供高生產率的處理。最後,等離子體蝕刻模塊為用戶提供了10 μ m分辨率的特征蝕刻功能.總體而言，NIKON NSR-1755 G7A是一種高性能晶片步進器，非常適合精密光刻和晶片加工。它配備了先進的遠心光學器件，180°快門，以及用於高效基板處理的雙夾緊機構。步進器能夠提供0.1 μ m/像素分辨率和21 nm拍攝尺寸精度的高精度、高速模式生成。NSR 1755 G7A具有各種工藝模塊,是微調小特性的理想設備,具有出色的分辨率和吞吐量。