二手 NIKON NSR 1755 G7A #9227621 待售
網址複製成功!
NIKON NSR 1755 G7A是一種先進的晶圓步進器,設計用於先進的光掩模開發和制造。該設備提供卓越的光掩模成像質量、高吞吐量和低擁有成本。它能夠提供高達175毫米的掃描字段。該系統提供多種曝光變化,分辨率低至1.00 nm。它還為用戶提供了最大的靈活性,使其能夠準確、高吞吐量地生產光掩碼。NIKON NSR-1755G7A配備了緊湊的單列掃描級和高精度光學單元,能夠快速、精確地對準掩模和晶片。它配備了一個長壽命的光源,該光源由氙氣燈和能夠半正弦掃描光的進動運動光機組成。這樣可以確保高通量和均勻的照明。晶圓步進器還采用了NIKON獨特的掃描激光幹涉儀(SLI)技術,在步進器工具中實現了前所未有的精度和可重復性。這種高精度的光學資產通過激光的幹涉測量位置位移,從而提供比各種曝光環境更高的精度水平。此外,該模型符合國際光刻CAD (CLIP)標準,該標準便於與NIKON NSR光刻平臺內的其他組件進行接口。它還支持大量光刻工藝技術,如Darkfield成像、接觸打印、激光掃描蒙版切割和基板掃描。設備先進的圖像處理能力保證了光刻缺陷和其他關鍵特征的高精度檢測、表征和重建。此外,NSR-1755 G7A還提供了增強可操作性的GUI,以便於操作。它配備了多語言序列編輯器(OPL),以支持各種流程要求。該系統具有多種功能選項,如自動誤報檢測、標線匹配、改進的對準公差和低功耗預對準。總體而言,NSR 1755 G7A是一種先進的晶圓步進器,旨在滿足當今要求更苛刻的光掩模開發和制造過程的要求。該設備具有優異的光學精度、高吞吐量、低運行成本,是滿足先進光刻要求的理想解決方案。
還沒有評論