二手 NIKON NSR 1755 G7A #9299965 待售
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NIKON NSR 1755 G7A是專門為先進半導體工藝設計的晶圓步進器。它是尼康公司最先進的步進器,在半導體工業中廣泛用於邏輯和內存器件的制造。NIKON NSR-1755G7A具有長焦距和短焦距的雙掃描系統。它以各種掃描速度提供高保真圖像放置精度和穩定的操作。其增強的光學元件提供了更高的分辨率、改進的聚焦和精確的成像。步進器的最大場大小為12 「x 25」(305mm x 635mm),允許更大的設備生產。NSR-1755 G7A還提供了一系列增加吞吐量的選項。它包括一個用於在晶片上打印抗蝕劑的大衣面罩、一個用於快速對準的自動頂部工具裝置以及一個多曝光自動聚焦系統。其他選項包括用於芯片調試的高速下載CMOS內存選項和用於微調圖像放置精度的吞吐量控制驅動程序。NSR-1755G7A也是NIKON高級掃描和建模(SaM)軟件套件的一部分。該軟件允許用戶分析和優化NIKON NSR-1755 G7A創建的光刻模式。該軟件旨在自動化晶圓對齊、檢測過程錯誤和增強邊緣配置文件。此外,該軟件還可用於開發和管理曝光預算、確定流程改進以及支持生產計劃。最後,NSR 1755 G7A配備了激光幹涉儀,用於定位精度,以及非接觸式厚度測量。步進器還能進行晶片裝卸,處理平坦和不均勻的基板。這些特性使其成為大批量生產以及研發作業的理想工具。
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