二手 NIKON NSR 1755 i7 #9053209 待售
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ID: 9053209
Stepper
Reduction Lens Type : 5iC1S-91359
PPD : YES
Reticle Size : 5"
Reticle Case : 8 each
Reticle Barcode Reader : YES
Movable Reticle Microscope : YES
Stage Screw : Ball Screw
Wafer Chuck : 6" ceramic
Pre Alignment 2 : YES 6" SEMI
Chip Leveling : YES
Exposure Field Size : 17.5mm x 17.5mm
RL Library Type : ARL
Extended RL Library : No
Wafer Size : 6 inch
Wafer OF Type : YES OF SEMI
Extended WL Carrier : (2) units
Inline Type : NO
Control Rack Position : Special LEFT
Alignment Sensor : LSA/FIA
Signal Tower : YES.
NIKON NSR 1755 i7是一種高精度晶圓步進器,設計用於半導體、MEMS、LED和高級封裝應用的器件制造。這一新一代平臺是與臺積電領先的光刻專家合作設計的,旨在為最苛刻的生產要求提供更高的吞吐量。NSR 1755 i7晶片步進器提供卓越的吞吐量,最大吞吐量可達每小時90個晶片,聚焦精度可達0.07微米。它配備了先進的舞臺控制設備,利用多個陣列的編碼器進行高速和舞臺的精確調整。晶片級還配備了自動對焦系統,可以非常精確地調節晶片圖像的焦點。晶片步進器還得益於高分辨率晶片卡盤設計,該設計允許在處理各種類型的晶片時實現精確和可重現的性能。這個NIKON NSR 1755 i7平臺還采用先進的投影光學器件設計,采用非球面透鏡設計,以提高光學通量並減少曝光時可能出現的像差。光學單元使用5x5 mm的標線移動機器,允許與步進器一起使用大陣列的口罩。它還具有一個極化控制工具,提供衍射還原,以提高圖像質量。NSR 1755 i7配備了用戶友好的圖形界面和自動化的作業編輯器,使用戶可以輕松快速方便地設置作業序列和更改參數。此步進器包括自動從晶片盒加載和卸載晶片的機器人資產,以及用於精密晶片處理的晶片夾緊模型。NIKON NSR 1755 i7還包括用於預防性維護和服務請求管理的綜合維護管理設備。該系統還提供數據記錄功能來分析曝光均勻性和步進性能。它與各種數據檢索源兼容,包括SNF和FabMaster,為OIF Laser Writer CHESS標準提供充分支持。總體而言,NSR 1755 i7是一種高精度晶圓步進器,旨在為半導體、MEMS、LED和高級封裝應用中的設備制造提供卓越的吞吐量和聚焦精度。憑借其先進的投影光學、用戶友好的界面、自動化的作業編輯器、機器人單元以及全面的維護管理機器,這個平臺被設計為滿足最苛刻的生產需求。
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