二手 NIKON NSR 1755 i7A #293605713 待售
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ID: 293605713
晶圓大小: 6"
優質的: 1990
Stepper, 6"
Wafer type: Flat and notch
Wafer loader type I and II
Carriers loading: Left and right
High and low pressure: 8 kgf/cm²
Reticle loader:
Mask size, 5"
Reticle library: 17 mm
Reticle stage:
RA Microscope
Position: 17.5 mm
FIA
LSA
Monitor
Interferometer type: 5517 A
1990 vintage.
NIKON NSR 1755 i7A是一種高端晶圓步進器,設計用於在直徑達300毫米的晶圓上精確繪制光聚合物層和其他材料的圖案。該i7A是一種光刻設備,利用先進的光學和納米材料在晶圓上創建精細分辨率模式。這種晶片步進器利用高速精度幹涉成像透鏡和優越的光學器件來產生最大的分辨率。NIKON NSR 1755I7A具有27 x 23.5英寸的大工作區域,支持直徑可達12英寸的7英寸晶圓和掩模板。該系統可以同時處理多個晶片,減少處理時間,提高吞吐量。晶圓步進器與各種材料如光聚合物、環氧樹脂、光刻膠等兼容。NSR-1755I7A使用先進的成像和圖樣技術進行精確的晶圓處理。該裝置設計有一個不間斷的多傳感器裝置,用於檢查和控制過程。機器可以檢測、測量和拒絕晶片上的任何缺陷,零觸摸檢查和低於-50°C的超低溫,以減少金屬遷移。NIKON NSR-1755I7A還配備了集成的自動級對級對準工具,以實現高精度。晶片步進器還具有邊緣區域對準功能,有助於精確對準晶片,減少材料浪費。對準分辨率± 0.1µm。此外,NSR 1755 i7A提供1 µm/sec的快速掃描速度,可以滿足廣泛的生產需求。它與數據管理資產集成在一起,能夠實時監控整個過程。該模型還集成了距離檢測器和自動錯誤檢測設備,幫助用戶輕松查找並消除處理錯誤。總體而言,NIKON NSR-1755 I 7 A是一種高端晶圓步進器,旨在以最佳精度和最低成本在多種材料上產生精確的圖樣。該裝置適用於半導體、MEMS等多種行業。
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